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半导体晶圆片硅晶片激光切割不易变形热影响小划片精度高
发布时间:2023-10-16        浏览次数:13        返回列表
半导体晶圆片硅晶片激光切割不易变形热影响小划片精度高

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激光硅片切割是电子行业硅基片又一新领域的应用。激光切割是利用高能激光束照射在工件表面,使被照射区域局部熔化、气化、从而达到划片的目的。因激光是经专用光学系统聚焦后成为一个非常小的光点,能量密度高,因其加工是非接触式的,对工件本身无机械冲压力,工件不易变形。热影响极小,划精度高,广泛应用于太阳能电池板、薄金属片的切割和划片。


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