13011886131
首页 > 新闻中心 > 镀膜晶圆激光划片铌酸锂晶片激光掏圆切割打孔加工个性定制
新闻中心
镀膜晶圆激光划片铌酸锂晶片激光掏圆切割打孔加工个性定制
发布时间:2023-10-12        浏览次数:19        返回列表

激光切割晶圆,很好的避免了砂轮划片存在的问题。是通过将脉冲激光的单个脉冲通过光学整形,让其透过材料表面在材料内部聚焦,在焦点区域能量密度较高,形成多光子吸收非线性吸收效应,使得材料改性形成裂纹。每一个激光脉冲等距作用,形成等距的损伤即可在材料内部形成一个改质层。在改质层位置材料的分子键被破坏,材料的连接变的脆弱而易于分开。切割完成后通过拉伸承载膜的方式,将产品充分分开,并使得芯片与芯片之间产生间隙。这样的加工方式避免了机械的直接接触和纯水的冲洗造成的破坏。目前激光切割技术可应用于蓝宝石/玻璃/硅以及多种化合物半导体晶圆。

传统硅片切割方式是机械切割,速度慢、断面平整性差、碎片多、不环保。硅是一种脆性材料,机械切割极易使边缘产生破裂,造成硅表面弹性应变区、位错网络区和碎晶区的组成层损伤,甚至可能造成隐形裂纹,影响电性参数等危害。激光切割技术具有无接触、无机械应力、切缝宽度小、断面平整光滑、精度高、速度快、性能稳定等优势;不会损伤硅片结构,电性参数要优于传统的机械切割方式,可应用于大面积电池片进行划线切割,做到**控制切割精度及厚度,进一步减少切割碎屑,提高电池利用率。华诺激光专注于硅片晶圆微米级的激光精密切割、钻孔、刻线、划片、材料去除、构造、雕刻和特殊材料的加工,主要应用于LED芯片制造,触摸屏,LCD,消费类电子,半导体,MEMS,照明,医疗等行业,以及科研、航天航空等领域,涉及包括各种金属及合金、半导体、陶瓷、各种透明材质、薄膜和聚合物等各种材料,公司已经做过1000多个基于以上材料的各种激光微加工试验和方案。

核心提示:镀膜晶圆激光划片,铌酸锂晶片激光掏圆
刚发布的文章
新闻分类
最新发布
企业新闻
联系方式
  • 地址:北京市丰台区南三环西路88号花卉研究中心2102号
  • 电话:010-51179489
  • 邮件:2494049662@qq.com
  • 手机:13011886131
  • 传真:010-51179489
  • 联系人:张卫梅